پیشینه مشتری
یک شرکت نیمههادی بدون کارخانه که تولید تراشههای پیشرفته خود را برونسپاری میکند. اتاق تمیز موجود آنها قادر به برآورده کردن الزامات دقیق لرزش و خلوص هوا برای لیتوگرافی غوطهوری 193 نانومتری نبود و باعث کاهش بازده شد.
نیازها و چالشها
•کلاس 5 ISO (کلاس 100) در سطح ویفر.
•کنترل دقیق دما: 22 ± 0.1 درجه سانتیگراد در سراسر بخش فوتولیتوگرافی.
•زمان توقف کوتاه: فقط 1 ماه برای بازسازی بخش موجود در دسترس بود.
راه حل
• طراحی مینی محیط: استپر با واحدهای فیلتر فن (FFU) به همراه فیلترهای شیمیایی برای AMC ایزوله شد. کلاس ISO 4 در داخل محفظه ابزار حاصل شد.
•ایزولاسیون فعال لرزش: بلوک اینرسی بتنی + ایزولاتورهای پنوماتیک برای برآورده کردن معیارهای VC-D.
•HVAC با دقت بالا: حلقههای آب سرد دوگانه با گرمایش مجدد، به علاوه ترمینالهای حجم هوای متغیر (VAV). یکنواختی دما در ±0.08 درجه سانتیگراد اندازهگیری شد.
•پانلهای پیشساخته: پانلهای فولاد ضد زنگ ساخته شده در خارج از سایت با اتصالات قفل بادامکی. در طول یک دوره تعمیر و نگهداری برنامهریزی شده نصب شد - در 25 روز تکمیل شد.
![]()
![]()
بازخورد مشتری
"یانینگ الزامات ابزار ما را بهتر از سایر پیمانکاران اتاق تمیز درک کرد."
— مدیر تأسیسات، مشتری نیمههادی
خلاصه
یانینگ در زمینه مهندسی اتاق تمیز تخصص دارد. ما به ایجاد محیطهای تولید پاک اختصاص دادهایم که مستقیماً کارایی تولید را افزایش میدهند. راهحلهای مدولار ما انتخابی ایدهآل برای مناطق تولید پاک در بخش تولید هستند.